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SEM主動隔振平臺

發(fā)布日期: 2024-04-23
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SEM主動隔振平臺,是標準SEM Base主動壓電振動消除平臺的定制低輪廓版本。
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SEM主動隔振平臺

SEM Base LP是我們的標準SEM Base主動壓電振動消除平臺的定制低輪廓版本。SEM Base LP更易于安裝,性能好,并經(jīng)過人體工程學優(yōu)化。緊湊的設計便于安裝,無需使用SEM內(nèi)置調(diào)平腳以外的任何東西來提升掃描電子顯微鏡(SEM)柱。而且,一旦安裝,SEM在地板上方的高度不會增加。SEM Base LP采用了我們STACIS壓電技術,具有與我們的行業(yè)標準SEM Base VI相同的振動消除性能。SEM Base LP包括腳輪,專門設計用于與許多Thermo Fisher Scientific(前FEI)工具集成。

<strong>SEM主動隔振平臺</strong>SEM base LP(圖1)

<strong>SEM主動隔振平臺</strong>SEM base LP(圖3)

SEM Base LP如何與工具底部框架集成的示例

SEM主動隔振平臺

兼容Thermo Fisher工具型號

SEM Base LP與許多Thermo Fisher Scientific型號兼容,包括:

? Apreo公司

? 阿奎洛斯

? 太陽神小型雙光束

? Nova納米SEM x50

? Quattro S系列

? Scios公司

? 特內(nèi)奧

? Verios G4公司

? Verios 460、460升

? Versa 3D

如果您的SEM/FIB未列出,請聯(lián)系TMC檢查兼容性。

SEM基礎優(yōu)勢

硬安裝技術–SEM底座與內(nèi)部SEM振動控制系統(tǒng)兼容,并積極緩解0.6 Hz開始的低頻地板振動。

主動慣性振動消除–SEM Base使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器實現(xiàn)高水平的振動衰減,即使在安靜的地板上也是如此。

采用壓電技術的串行設計–串行設計和專有的高壓壓電技術可實現(xiàn)從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬和慣性主動振動消除,從2 Hz開始減少90%。

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