CleanTop光學(xué)平臺支撐系統(tǒng)
TMC為我們的CleanTop光學(xué)平臺和面包板提供各種各樣的支腿系統(tǒng)。
通常,光學(xué)平臺和面包板放置在通過拉桿連接在一起的氣動或剛性支架上。這是我們Micro-g系列的支撐系統(tǒng)。
對于極其敏感的應(yīng)用,特別是低于5 Hz的地板振動,我們推薦使用主動壓電和混合解決方案 - STACIS III和LaserTable-Base。
概述
LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學(xué)平臺隔振技術(shù)的一大飛躍。通常,光學(xué)平臺由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統(tǒng)實際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動。
TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動器和慣性振動傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制,可消除而不會放大極低頻振動。LaserTable-Base將這兩項技術(shù)(空氣和STACIS)整合到一個集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng),這實現(xiàn)了低頻率消振和**的高頻隔振水平。
LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設(shè)計,可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架,具體取決于應(yīng)用要求。
規(guī)格
? 采用STACIS®技術(shù)
? 主動慣性消振系統(tǒng)
? 消振從低于1 Hz開始
? 加長行程的壓電致動器,高達60微米。
? 6個主動自由度
? 由兩個串聯(lián)隔振系統(tǒng)組成,可實現(xiàn)**隔振效果
? 采用MaxDamp®空氣隔振器
? 簡單、堅固且經(jīng)濟高效
? 可選的擱板,用于在工作臺下方安裝設(shè)備
? 包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器
CleanTop光學(xué)平臺支撐系統(tǒng) 性能
將低頻、被動MaxDamp®空氣隔振器與壓電主動消振系統(tǒng)串聯(lián)在一起,可得到整體傳遞率曲線,即兩條單獨傳遞率曲線的總和。由此產(chǎn)生的隔振性能非常顯著,在某些頻率范圍內(nèi),我們受到測量儀器噪聲基底的限制。并且無法測量和演示完整的隔振性能。也就是說,在10-12 Hz以上,組合系統(tǒng)的實際性能預(yù)計將超過所示性能,因為組合隔振理論上是兩個子系統(tǒng)所提供的隔振的總和。
應(yīng)用照片